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產(chǎn)品中心

Product Center

NPS超精密模組-納米級
特征

重現(xiàn)精度:±0.2μm

絕對精度:±1μm

水平直線度:±1.5μm

垂直直線度:±1.5μm

俯仰:±5arc-sec

偏擺:±5arc-sec

奈米級超精密運(yùn)動(dòng)控制

低速度漣波平滑運(yùn)動(dòng)



  • 基本信息
  • 規(guī)格尺寸
  • 配置/性能參數(shù)

    直線電機(jī)平臺(tái)

        2奈米

    最小增量控制

    奈米級超精密運(yùn)動(dòng)控制

    低速度漣波平滑運(yùn)動(dòng)

    高剛性交叉滾子線性滑軌

    高精度線性光學(xué)編碼器NPS直線電機(jī)資料1.png

    NPS超精密模組-納米級


    NPS直線電機(jī)尺寸.png

    NPS超精密模組-納米級

    NPS直線電機(jī)參數(shù).png

    NPS直線電機(jī)資料2.png

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