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產(chǎn)品中心

Product Center

上銀超精密模組-Z軸/納米級(jí)
特征

重現(xiàn)精度:±0.3μm

絕對(duì)精度:±3μm

水平直線度:±1.5μm

垂直直線度:±1.5μm


重現(xiàn)精度:±0.2μm

絕對(duì)精度:±1μm

水平直線度:±1.5μm

垂直直線度:±1.5μm

俯仰:±5arc-sec

偏擺:±5arc-sec

奈米級(jí)超精密運(yùn)動(dòng)控制

低速度漣波平滑運(yùn)動(dòng)




  • 基本信息
  • 規(guī)格尺寸
  • 配置/性能參數(shù)

    滾珠絲桿平臺(tái)

    1100奈米

    最小增量控制

    研磨級(jí)精密滾珠絲桿

    三相旋轉(zhuǎn)伺服馬達(dá)

    高剛性交叉滾珠線型滑軌

    標(biāo)準(zhǔn)Z軸模組

    NPS資料1.png


    NPS 絲桿型號(hào).png


    直線電機(jī)平臺(tái)

        2奈米

    最小增量控制

    奈米級(jí)超精密運(yùn)動(dòng)控制

    低速度漣波平滑運(yùn)動(dòng)

    高剛性交叉滾子線性滑軌

    高精度線性光學(xué)編碼器NPS直線電機(jī)資料1.png


    NPS超精密模組-Z軸

    NPS超精密模組-納米級(jí)


    NPS直線電機(jī)尺寸.png


    NPS超精密模組-Z軸

    NPS絲桿參數(shù).png

    NPS超精密模組-納米級(jí)

    NPS直線電機(jī)參數(shù).png

    NPS直線電機(jī)資料2.png


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