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產(chǎn)品中心

Product Center

上銀直線電機平臺-無塵室
特征

平面度±2μm 

重現(xiàn)性±0.5μm  

精度±1.5μm



  • 基本信息
  • 規(guī)格尺寸
  • 配置/性能參數(shù)

    空氣軸承直線電機定位平臺

    針對先端半導(dǎo)體與面板制程設(shè)備所開發(fā)之奈米空氣軸承直線電機定位平臺。領(lǐng)先同業(yè)採用新型真空預(yù)壓低耗能氣浮軸承、動態(tài)反作用力平衡與慣性補償技術(shù),可于千分之一秒內(nèi)達到奈米誤差內(nèi)要求,大幅減少運動整定時間與元件磨耗率,提升設(shè)備生產(chǎn)力與可靠性。完整智能化遠(yuǎn)端系統(tǒng)偵測與全球客服支援提供,幫助客戶大幅縮短設(shè)備開發(fā)時程,節(jié)省許多整合時間與成本,使其更聚焦本身關(guān)鍵制程Know-how。



    空氣軸承直線電機平臺LMAP系列

    低外型、XY對稱的結(jié)構(gòu)設(shè)計,并搭配高剛性的花崗巖基座磁性預(yù)壓設(shè)計,提升其穩(wěn)定性,具備優(yōu)越的幾何特性;采用無鐵芯直線電機,無磁頓力縮短整定的時間,提供極佳的平滑運動與定位精度;橫梁設(shè)計采用堅固質(zhì)輕的鋁合金,減少移動部的重量;龍門雙驅(qū)架構(gòu)并利用兩組光學(xué)線性編碼器進行回饋補償,提供動態(tài)控制與誤差修正;適用于潔淨(jìng)室,無需潤滑好保養(yǎng),并提供高繞性的纜線管理。


    實際案例:

    高等級的晶圓品質(zhì)管制、光罩製作 :

    晶圓表面的管制以及晶圓或玻璃面板的光罩通常需要採用空氣軸承式的XY直線電機平臺,以檢測出極微小的缺陷或製作出高精度的光罩。

    例如電子業(yè),晶片工業(yè)以及平面顯示器業(yè)裡面都採 用這種方式。

    平面度±2μm 

    重現(xiàn)性±0.5μm  

    精度±1.5μm

    汽浮.png

    更多直線電機非標(biāo)定制,請聯(lián)系銷售經(jīng)理


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    上銀汽浮直線電機平臺



     上銀汽浮直線電機平臺汽浮-1.png  上銀汽浮直線電機平臺

    LMAP系列產(chǎn)品規(guī)格





    基本型號單位AP250AP450AP650
    行程mm
    250x250450x450650x650
    馬達規(guī)格-橫梁軸:LMCC8     龍門軸:LMCB8x2
    Bus VoltagevUp to 325 VDC
    瞬間電流A[pk]6.0
    連續(xù)電流A[mm]2.0
    反饋系統(tǒng)-

    Optical Linear Encoder: Analog period 40umglass scale

    定位精度













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