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產(chǎn)品中心

Product Center

HIWIN EFEM220-D13 晶圓移載系統(tǒng)
特征

提供即時影像監(jiān)控

符合SEMI S2設(shè)計標(biāo)準(zhǔn)

符合RoHS規(guī)范,

潔凈度最高可達ISO Class 1

6" , 8" Open Cassette標(biāo)準(zhǔn)機型

  • 基本信息
  • 規(guī)格尺寸
  • 配置/性能參數(shù)

    晶圓移載系統(tǒng)

    產(chǎn)品列表

    HIWIN晶圓移載系統(tǒng)(EFEM)是完整的自動化系統(tǒng),HIWIN透過垂直整合,搭配自行研發(fā)之控制系統(tǒng),能彈性選配Wafer ID讀取、晶舟盒RFID感應(yīng)、晶圓尋邊校正、凸片檢知、站點在席感測等周邊配件進行規(guī)劃,并依產(chǎn)品規(guī)格搭配對應(yīng)款式之晶圓機器人,有效針對不同制程及應(yīng)用的客戶,提供客制化的服務(wù),使客戶的設(shè)備和制程更有效率及競爭力。

    HIWIN多樣的產(chǎn)品種類進行垂直整合,搭配自行研發(fā)之系統(tǒng)控制,對應(yīng)客戶不同需求并應(yīng)用于制程中。可選配Wafer ID Reader、RFID、尋邊器、Load Port等周邊模塊,并依照產(chǎn)品規(guī)格進行系統(tǒng)規(guī)劃。

    HIWIN EFEM220-D13 晶圓移載系統(tǒng)

    特征

    ●6" , 8" Open Cassette標(biāo)準(zhǔn)機型

    ●模組化機架,可依照客戶需求調(diào)整配置方式

    ●符合國際半導(dǎo)體設(shè)備SEMI S2安全規(guī)范

    ●符合RoHS規(guī)范,潔凈度最高可達ISO Class 1

    ●多種感測器偵測各項元件,即時監(jiān)測設(shè)備狀態(tài)

    ●GUI介面軟體,可遠端操作指令,整合各裝置子系統(tǒng),提供單一指令格式窗口

    ●特色條碼、標(biāo)簽及字元辨識,完整追蹤生產(chǎn)歷程。

    ●提供即時影像監(jiān)控。

    ●高效凈化及靜電消除等微環(huán)境控制,確保傳送過程中不受污染。

    ●自動壓力控制系統(tǒng)可以通過環(huán)境壓力變化,調(diào)節(jié)風(fēng)扇轉(zhuǎn)速以保持設(shè)定值。

    ●提供客制化晶圓或其它基板搬運需求。


    EFEM220-D03尺寸圖.png

    EFEM220-D03性能.png

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