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產(chǎn)品中心

Product Center

HIWIN EFEM320-D02 晶圓移載系統(tǒng)
特征

●條碼、標(biāo)簽及字元辨識,

完整追蹤生產(chǎn)歷程。提供即時(shí)影像監(jiān)控

●高效凈化及靜電消除等微環(huán)境控制,

確保傳送過程中不受污染。

●自動(dòng)壓力控制系統(tǒng)可以通過環(huán)境壓力變化,

調(diào)節(jié)風(fēng)扇轉(zhuǎn)速以保持設(shè)定值。

●提供客制化晶圓或其它基板搬運(yùn)需求。

  • 基本信息
  • 規(guī)格尺寸
  • 配置/性能參數(shù)

      晶圓移載系統(tǒng)

      產(chǎn)品列表

      特征

      HIWIN晶圓移載系統(tǒng)(EFEM)是完整的自動(dòng)化系統(tǒng),HIWIN透過垂直整合,搭配自行研發(fā)之控制系統(tǒng),能彈性選配Wafer ID讀取、晶舟盒RFID感應(yīng)、晶圓尋邊校正、凸片檢知、站點(diǎn)在席感測等周邊配件進(jìn)行規(guī)劃,并依產(chǎn)品規(guī)格搭配對應(yīng)款式之晶圓機(jī)器人,有效針對不同制程及應(yīng)用的客戶,提供客制化的服務(wù),使客戶的設(shè)備和制程更有效率及競爭力。

      HIWIN多樣的產(chǎn)品種類進(jìn)行垂直整合,搭配自行研發(fā)之系統(tǒng)控制,對應(yīng)客戶不同需求并應(yīng)用于制程中??蛇x配Wafer ID Reader、RFID、尋邊器、Load Port等周邊模塊,并依照產(chǎn)品規(guī)格進(jìn)行系統(tǒng)規(guī)劃。

      HIWIN EFEM320-D02 晶圓移載系統(tǒng)

      特征

      • 8" , 12" 標(biāo)準(zhǔn)機(jī)型
      • 盤面式電控箱設(shè)計(jì)
      • 通過國際半導(dǎo)體設(shè)備SEMI S2安全認(rèn)證
      • 符合RoHS規(guī)范,潔凈度最高可達(dá)ISO Class 1
      • 多種感測器偵測各項(xiàng)元件,即時(shí)監(jiān)測設(shè)備狀態(tài)
      • 即時(shí)影像監(jiān)控,條碼、標(biāo)簽字元辨識,完整追蹤生產(chǎn)過程
      • 提供客制化晶圓或其他基板搬運(yùn)需求

      HIWIN EFEM320-D02 晶圓移載系統(tǒng)圖片.png

    HIWIN EFEM320-D02 晶圓移載系統(tǒng)尺寸圖.png

    HIWIN EFEM320-D02 晶圓移載系統(tǒng)性能.png

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