HIWIN晶圓移載系統(tǒng)(EFEM)是完整的自動(dòng)化系統(tǒng)，HIWIN透過垂直整合，搭配自行研發(fā)之控制系統(tǒng)，能彈性選配Wafer ID讀取、晶舟盒RFID感應(yīng)、晶圓尋邊校正、凸片檢知、站點(diǎn)在席感測等周邊配件進(jìn)行規(guī)劃，并依產(chǎn)品規(guī)格搭配對(duì)應(yīng)款式之晶圓機(jī)器人，有效針對(duì)不同制程及應(yīng)用的客戶，提供客制化的服務(wù)，使客戶的設(shè)備和制程更有效率及競爭力。