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產(chǎn)品中心

Product Center

E系列-RWSE 單臂晶圓機(jī)器人
特征

具軟硬體垂直整合優(yōu)勢(shì),

采用高精密、高剛性之直驅(qū)馬達(dá),

重復(fù)精度可達(dá)到±0.1mm。

且回轉(zhuǎn)半徑小,大幅提升空間使用率。

支援非徑向取放功能,

末端可再選配馬達(dá)驅(qū)動(dòng)之模組實(shí)現(xiàn)翻轉(zhuǎn)功能

  • 基本信息
  • 規(guī)格尺寸
  • 配置/性能參數(shù)

    RWSE 單臂晶圓機(jī)器人

    特征

    具軟硬體垂直整合優(yōu)勢(shì),采用高精密、高剛性之直驅(qū)馬達(dá),重復(fù)精度可達(dá)到±0.1mm。且回轉(zhuǎn)半徑小,大幅提升空間使用率。支援非徑向取放功能,末端可再選配馬達(dá)驅(qū)動(dòng)之模組實(shí)現(xiàn)翻轉(zhuǎn)功能。

    應(yīng)用

    適用于半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)(晶圓取放)、光電產(chǎn)業(yè)(小型面板、小型太陽(yáng)能板)、LED產(chǎn)業(yè)(藍(lán)寶石基板、膠環(huán))等取放設(shè)備。

    關(guān)鍵零組件自制

    機(jī)械手臂中的各關(guān)鍵零組件,如滾珠絲杠、直驅(qū)電機(jī)等,皆由HIWIN自行研發(fā)制造,取件直接,軟硬體垂直整

    合,可提供高品質(zhì)的機(jī)器手臂,提升您的競(jìng)爭(zhēng)力,且可依客戶(hù)生產(chǎn)需求提供客制化服務(wù)。

    零部件自制.jpg

    半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)

    ●晶圓搬運(yùn)                                                                                                     ●晶圓翻轉(zhuǎn)搬運(yùn)

    半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè).jpg

    LED產(chǎn)業(yè)                                                                                                                                   面板產(chǎn)業(yè)[小型面板)

    藍(lán)寶石基板搬運(yùn)                                 ●GripRing(膠環(huán)]搬運(yùn)                        ●面板搬運(yùn)                                  ●倉(cāng)儲(chǔ)應(yīng)用

    LED產(chǎn)業(yè).jpg


    RWS 單臂晶圓機(jī)器人尺寸圖.jpg


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