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產(chǎn)品中心

Product Center

HPA12-E晶圓尋邊器
特征

機型:12吋

晶圓尺寸:12吋

晶圓材質(zhì):透明,半透明,不透明

晶圓厚度:0.4~0.8mm

運動數(shù)軸:3軸

晶圓承載方式:邊緣接觸

重復精度:中心<±0.1mm,角度<±0.2°

潔凈度:Class 1

  • 基本信息
  • 規(guī)格尺寸
  • 配置/性能參數(shù)

    晶圓尋邊器

    ●HPA系列為三軸控制之晶圓尋邊器,全系列采用HIWIN微型單軸機器人模組,實現(xiàn)高速化、高精度、高剛性、高效率與小體積之優(yōu)勢。

    ●內(nèi)嵌式控制器設計(All-in-one design),無需額外設置控制器及走線空間,在相等規(guī)格條件下,產(chǎn)品體積為業(yè)界最小。

    ●搭載智能光透型激光傳感器,可支援透明、半透明與不透明等物件的輪廓偵測功能,適用于直徑100~300mm的晶圓、玻璃等。

    ●產(chǎn)品潔淨度等級為ISO Class 3 (Class 1),應用范圍包含半導體、光電等產(chǎn)業(yè)。

    ●最短可于4.9秒內(nèi)完成晶圓對準、校準(Wafer align)、晶圓中心與角度等補正動作,同時達成定位(Centering)重複精度±0.025mm。

    ●符合相關(guān)安全規(guī)范指令,系統(tǒng)提供緊急停止(Emergency stop)功能外,亦即時監(jiān)控各功能模組,例如馬達驅(qū)控系統(tǒng)、感測系統(tǒng)、真空系統(tǒng)、循環(huán)系統(tǒng)等,提供提供使用者最全面、安全的防護。

    ●友善化設計(User friendly),產(chǎn)品外部提供狀態(tài)指示燈,使用者可即時掌握產(chǎn)品使用狀態(tài),且產(chǎn)品兩側(cè)面的內(nèi)凹設計,提供使用者更加穩(wěn)定、省力的抓握與搬運。

    ●為使產(chǎn)品生命週期皆盡環(huán)保責任,全系列產(chǎn)品取得歐洲環(huán)保指令(RoHS2),并使用水污染等級最低(WGK1)潤滑脂,且采用環(huán)保包材(NBSK)。

    特征


    • HPA系列為三軸控制之晶圓尋邊器,全系列采用HIWIN微型單軸機器人模組,實現(xiàn)高速化、高精度、高剛性、高效率與小體積之優(yōu)勢。
    • 內(nèi)嵌式控制器設計(All-in-one design),無需額外設置控制器及走線空間,在相等規(guī)格條件下,產(chǎn)品體積為業(yè)界最小。
    • 搭載智能光透型雷射感測器,可支援透明、半透明與不透明等物件的輪廓偵測功能,適用于直徑100mm~300mm的晶圓、玻璃等。
    • 產(chǎn)品潔凈度等級為ISO Class 3 (Class 1),應用范圍包含半導體、光電等產(chǎn)業(yè)。


    應用


    適用于半導體產(chǎn)業(yè)(晶圓)、LED產(chǎn)業(yè)(藍寶石基板)、光電產(chǎn)業(yè)(玻璃)等校準對位。


    尋邊器圖.jpg

    HPA12-E.jpg

    12-E尺寸圖.jpg

    標準出貨內(nèi)容

    ●晶圓尋邊器:共1臺

    ●電源與緊停連接器:共1個[腳位定義:24V、0V、EMG+、EMG-)

    ●RS232傳輸線:共1條[雙邊DB9-F,雙磁扣環(huán),線長3米)



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